MFシリーズは、ノコギリ歯タイプのローター（回転子）を内蔵した微少流量計測用流量計。HOシリーズ同様非接触にて回転が検出され外部にパルスとして出力されます。微少流量のため液体エネルギーが非常に少なく流入部にオリフィスにて絞り流速を早めています。構造上出力特性はHOシリーズのようにリニアーではありません。ただし、確実な再現性を持っておりますので、受信計測側にてリニアライズ等の機能にて対応。
特長
極微少流量計測に対応高温/高圧使用に対応高精度
仕様
使用温度	-260 ～ +400℃
使用圧力	～ 7 MPa
測定精度	± 0.5 ％
測定範囲	10:1 ～ 20:1
接液材質	SUS304 , 17-4SS
適応流体	航空燃料 , フロン（液体/気体） , フロリナート , オイル , 水 , 空気
測定流量
MF1/2x20	57　～　　185　mLPM
MF1/2x40	75　～　　575　mLPM
MF1/2x60	95　～　　950　mLPM
MF1/2x80	285　～　2850　mLPM
MF1/2x100	375　～　3750　mLPM
MF1/2x125	490　～　4900　mLPM

製品の仕様は予告なしに変更することがあります。