流量計測部として、上流側に温度センサー（RTD1）を下流側に温度センサー(RTD2)とヒーターがあります。電源投入と共にRTD2は、ヒーターにより温度が上昇しRTD1との間に物理的にΔT（温度差）が生じます。流体が流れ始めると下流側のRTD2は冷やされ熱が奪われ、結果としてRTD1との温度差が減少します。制御器はΔT（温度差）を一定に保持することで、ヒーターへの供給電流により流速を求めるしくみになっています。 | |
| 特長 | |
 超微小 液体計測 10ml/day超微小 ガス計測 25Sml/min測定誤差 ±1 or 3％（レンジによる）流路に駆動部が無い
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| 仕様 | |
| 使用温度 | -10 〜 240 ℃（オプション 400℃） |
| 測定誤差 | ± 1 〜 3 % |
| 接続方法 | チューブ・フランジ・NF |
| チューブ外径 | 0.28 〜 1 inch |
| 出力 | 0-10Ｖ、4/20mA、パルス |
| 適応流体 | 接着剤 , アルコール , 発酵材料 , 炭化水素 , 液化ガス , 潤滑剤 , 臭気剤 , 芳香 |
| 測定流量 | ||
| 流量範囲 | ガス流量範囲 | |
| 0.28 inch | 0.007 〜 2.0 mLPM | 0.025 〜 7.6 mLPM |
| 1/16 inch | 0.05 〜 60 mLPM | 0.05 〜 35 mLPM |
| 1/8 inch | 3 〜 500 mLPM | 1.4 〜 140 mLPM |
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100カタログ(1,290KB) 100-210取扱説明書(355KB) |