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EL シリーズ

サーマルマスフローメータ EL シリーズ
仕 様 内  容 (注:型式による)
 流量範囲
 上:メータ
 下:制御
 型 式  流量範囲
 F-110C
 F-200CV
 0.014~0.7 mL/min ~
 0.06~9mL/min
 F-111B
 F-201CV
 0.16~0.8 mL/min ~
 0.16~25mL/min
 F-111AC
 F-201AV
 0.04~20 L/min ~
 0.6~100 L/min
 F-112AC
 F-202AV
 0.8~40 L/min ~
 1.4~250 L/min
 F-113AC
 F-203AV
 4~200 L/min ~
 8~1670 L/min
  測定レンジ  1:50
 圧力範囲
 メータ(10 MPa), コントローラ(6.4MPa)
 温度範囲
 -10~+70 ℃
 用途
 気体流量監視/制御
 その他
 

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